ПРОБЛЕМАТИКА КОНТРОЛЯ И УПРАВЛЕНИЯ ПАРАМЕТРАМИ МИКРОКЛИМАТА В МИКРОЭЛЕКТРОННОЙ ПРОМЫШЛЕННОСТИ


УДК 681.2-5
DOI: 10.26102/2310-6018/2019.25.2.016

К.Ю. Гусев , Д.В. Жильцов , В.Л. Бурковский , П.Ю. Гусев


В настоящее время всё большее внимание при стратегическом планировании развития промышленности в России уделяется предприятиям, работающим в сфере микроэлектроники. Подтверждением тому является большое число проводимых конференций, форумов и встреч на самом высоком государственном уровне по проблемам развития микроэлектроники в России. Основная часть предприятий, выпускающих микроэлектронную продукцию, начинали свою работу еще в советское время. То есть на сегодня имеются производственные цеха, которые по своим размерам и характеристикам не совпадают с современными производственными линиями выпуска микроэлектронной продукции. В статье приводится влияние параметров микроклимата на качество выпускаемой продукции. Рассматриваются как характеристики воздуха, поступающего и удаляемого из помещений, так и электростатические характеристики, несомненно оказывающие влияние на производство микроэлектроники и часто приводящие к браку, а также параметры воды, используемой в производстве. Результатом обзора существующего на сегодня в микроэлектронной промышленности уровня управления описанными выше параметрами является формулирование проблематики – отсутствие системного подхода при постановке технического задания, разработки всех стадий проекта и реализации строительства или реконструкции предприятий микроэлектронной промышленности в ключе управления параметрами микроклимата цеха, электростатическими параметрами и характеристиками промышленной воды и газа.

Ключевые слова: управление, микроэлектронная промышленность, контроль параметров.

Полный текст статьи:
Gusev2Soavtori_2_19_1.pdf